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六氟乙烷
  • 六氟乙烷

六氟乙烷

六氟乙烷化学式C2F6,为无色、无臭、无味、不可燃的惰性气体,常用作绝缘气、等离子蚀刻剂, 高介电强度泠却剂,易司拓普可供应5N级六氟乙烷,有需求可联系客服。

  • 产品名称:六氟乙烷
  • CAS号:76-16-4
  • 产品规格:5N
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六氟乙烷化学式C2F6,为无色、无臭、无味、不可燃的惰性气体,常用作绝缘气、等离子蚀刻剂, 高介电强度泠却剂,易司拓普可供应5N级六氟乙烷,有需求可联系客服。

六氟乙烷产品介绍

产品名称:六氟乙烷

英文名:hexafluoroethane

CAS号:76-16-4

分子量:138.01200

分子式:C2F6

产品规格:5N

包装规格:47L、CGA660/Diss716、40kg

六氟乙烷的用途

六氟乙烷在半导体与微电子工业中用作等离子蚀刻气体、器件表面清洗剂,还可用于光纤生产与低温制冷。因其具有无毒无臭、高稳定性而被广泛应用在半导体制造过程中,例如作为蚀刻剂、化学气相沉积(CVD)后的清洗气体,在等离子工艺中作为二氧化硅和磷硅玻璃的干蚀气体。

六氟乙烷的合成方法

目前六氟乙烷的制备有多种工艺路线方法,主要包括电化学氟化法、热解法、金属氟化物氟化法、氟化氢催化氟化法、直接氟化法。①电化学氟化法:乙炔、乙烯或乙烷在电解条件下氟化;②热解法:通过四氟乙烯和CO2之间的热分解反应制备;③金属氟化物氟化法:如乙炔、乙烯和乙烷与金属氟化物(CoF3、MnF3、AgF2)进行反应;④氟化氢催化氟化法:催化剂存在下氟化全卤代乙烷化合物(C2FxCly);⑤直接氟化法:活性炭、乙炔、乙烷和五氟乙烷等气体直接与氟气反应。

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