氘代硅烷是硅烷的氘代同位素气体，是硅烷的四个氢都被氢的同位素氘所取代，易司拓普是一个稳定同位素集成供应平台，可供应氘代硅烷的气体，有需求可咨询易司拓普客服。

氘代硅烷-D4产品规格

产品名称：氘代硅烷

分子式：SiD4

分子量36.15

CAS号：13537-07-0

质量规格：丰度≥98atom%

                 化学纯度≥99.99%

氘代硅烷的应用

氘代硅烷在Gigabyte DRAM 生产中用作不含氢的硅源，其中通常包含在晶格中的氢对栅极的高速运行有害。晶格内较重的氘为热电子效应引起的损伤提供了质量屏障，从而延长了器件的寿命。氘硅烷还用于各种研究应用，以测定氢的热力学掺入率。