三氯氢硅又称硅氯仿，甲硅烷的三氯代物，化学式SiHCl3。为一种易流动的无色液体；熔点－126.5℃，沸点 33℃，密度1.34克／厘米3；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。

三氯氢硅在水中发生水解作用，生成聚合的HSiO1.5，其结构像聚硅氧烯(H2SiO)n。三氯氢硅与乙醇反应生成硅酸的酯类和氯化氢：

SiHCl3+3C2H5OH─→SiH(OC2H5)3+3HCl

在有机过氧化物催化下，能与α烯烃起加成反应，例如：

与丙烯腈作用，发生两种加成反应：

在金属钠的作用下，会还原成一种聚合的不饱和氢化硅：

xSiHCl3+3xNa─→(SiH)x+3xNaCl

硅氯仿和四氟化锡在封闭管中加热，可得到硅氟仿：

4SiHCl3+3SnF4─→4SiHF3+3SnCl4

三氯氢硅可由氯化氢在350℃时与单质硅反应来制备：

Si+3HCl─→SiHCl3+H2

三氯氢硅易被精镏提纯，是生产纯硅的中间原料。